“原来如此!”
李想感慨地点了点头,这的确是一件值得庆祝的事情。
但一旁的陈念心里却没什么波动。
因为这事儿他早就知道了
空气轴承技术的突破,事实上就是二十二号项目的衍生技术,还给他带来了源点的收益。
不过,虽然不惊喜,但他也不会在这种时候去破坏气氛,只是静静地吃着饭,听乔麦和李想闲聊。
“所以如果真的要造光刻机,我们现在能造出来吗?”
李想继续问道。
“呃这块我其实不太懂,但是光刻机里面有个结构确实在我们的研究范围里,就是对准系统。”
“啥叫对准系统?”
“简单来说,光刻的过程就是用光线雕刻的过程,那要保证准确,就必须保证你的‘刻刀’落在‘画板’正确的位置上,而保证这一点,就是对准系统要做的事情。”
“这个过程很复杂,涉及到的结构也很多,我们现在用的还是手动对准系统,跟国外大公司的技术差距很大,估计短时间内也没有突破的可能性”
听到这里,陈念的眉头突然皱了起来。
他抬起头,开口问道:
“啥?我们现在的光刻机用的是手动对准系统?”
在他的印象里,国产光刻机虽然精度差、效率低,但基本的功能还是齐的。
毕竟这玩意儿1974年就诞生了,后来经过1445所的不断优化升级,功能性还是完整的,怎么搞来搞去,还在用着手动对准吗?
这倒是涉及到他的知识盲区了。
听到他的问题,乔麦同样惊讶:
“啊?你不知道吗?也对,你们应该不会太关注这块。”
“但现在我们的对准系统确实很差,之前1445所实验了很多种方法,也没有解决自动对准的问题-——同样的,精度也不够。”
“1445所用的不是同轴+离轴双对准的方法?”
陈念大为惊讶,因为某种原因,这玩意儿在他的前一世铺天盖地地报道,连他这个门外汉都看过不少,搞的他还以为国内早就解决了对准系统的问题呢。
“不是啊,离轴对准的技术难度很高,设计原理也比较复杂,我们没有搞出来的”
“这玩意儿复杂??”
“你说它制造难度大我还可以接受,但是原理复杂不就是光衍射的原理吗?”
话刚说完,陈念的脑子里突然灵光一闪,想起了关于以前他看过的报道的更多细节。
对啊!
最早的离轴对准技术,是ASML公司1999年才发明、2001年才算正式运用的技术,而自己所说的同轴+离轴的技术,是07年出现的。
现在国内确实还没有机会接触到最新的光刻机,自然也没有能力去复刻这种技术。
所以,乔麦不知道、或者说国内没人知道,似乎是正常的?
但自己还真知道啊!
哪怕不借助系统也能知道!
因为它的原理,真就没有乔麦所预计的那么复杂。
想到这里,陈念没等乔麦回答便继续说道:
“离轴对准技术的原理其实并不复杂,说到底,它也就是利用固定波长的光线来进行衍射照射,然后标记出参考光栅后,再利用摩尔东文来校准,当硅片跟光栅对齐之后,对准就基本完成了。”
“在这个过程中最难的不是标记,而是维持系统的稳定,具体的操作方法”
听着陈念娓娓道来,乔麦的神情渐渐变得严肃。
她眉头紧皱,默默在脑子里推演陈念所说的技术操作,但还没等她推演完,陈念却突然停了下来。
“咋啦?怎么不继续了?”
乔麦疑惑地问道。
“额,后面不知道了,我也是偶然从一本杂志上看到的”
“哦,这样”
“你的方法好像真的没什么问题,而且原理也没那么复杂就跟你说的一样,这种技术难的不是原理,而是怎么实现。”
“不过,有理论总比没有理论好啦,说不定过段时间,我们就能实现这个技术了。”
乔麦的表情有些遗憾,但陈念却是暗自庆幸。
嘿,还好收住了!
他本来以为这就是一个很简单的技术,根本涉及不到保密要求。
但没想到,话还没说一半,系统先跳出来了!
TSI+Athena对准系统
解析源点需求:36
解析源点需求:32
解析源点需求:21
伴随着解析源点需求不断降低的,是自己持有的源点数不断升高。
而当解析源点需求降到15个点的时候,自己收到的源点数,则直接上升了07个点
这时候陈念才想起来,这玩意儿对现在的世界来说,它就是知识增量啊!
所以,暂时还说不得,至少不能说给不在保密序列里的乔麦和李想听
等回去以后,找个时间写下来,丢给光电所那些专家研究去吧
不过话说回来,加上07个源点,数字阵列雷达的消耗一下子就补足了。
他也不磨叽,直接启动解析。
一阵强烈的眩晕之后,数字阵列雷达的技术障碍彻底扫除!
随后,他抬起头看向面前的乔麦,心里暗暗想道:
这姐们儿是不是有点锦鲤属性啊?
每次见到她都有点意外收获,虽然不是她带来的,但两次都是她起的头。
如果这样的事情再发生第三次的话,就想想办法给她弄组里供着,当个吉祥物也不错
(本章完)